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浙江不锈钢弯头电容式硅微加速度计质量块的位移也可以用电容的方式测量

浏览：发表时间：2022-06-01 17:35:29 来源：文章来自网络，如有侵权，请联系删除。

　　即为一般力传感器的组成。不锈钢弯头电容式硅微加速度计质量块的位移也可以用电容的方式测量，是电容式硅微加速度计的截面图，该加速度计由一个与两端固定的梁带动的质量块构成，质量块的位移由其上下金属电的电容信号读出。微陀蝶微陀螺工作原理传统的机械式陀螺通常是利用一个高速旋转转子的角动量守恒原理来测量角速度。测量高速旋转的角速度微传感器也可称为微陀螺或微机械陀螺。在微机电系统中要加工出如此高速旋转的复杂的转子系统是非常困难的。几乎所有的微机械陀螺都放弃了采用高速旋转的转子的设计，而是利用振动元件来测出角速度，因此微机械陀螺又被称为微机械振动陀螺。

　　振动陀螺的工作原理是基于科氏效应，不锈钢弯头通过一定形式的装置产生并检测科氏加速度。科氏加速度是由法国科学家科里奥利于年首先提出的出现在旋转坐标系中的表征加速度，其与旋转坐标系的旋转速度成正比，。一个在转动的盘子上从向边缘作直线运动的球，它在盘子上所形成的实际轨迹是一曲线。该曲线的曲率与转动速率是有关系的，实际上，如果从盘子上面观察，则会看到球有明显的加速度，即科氏加速度。此加速度。由盘子的角速度矢量和球做直线运动的速度矢量’的矢积得出在微机械陀螺中，一般是利用一定的振动质量块来检测科氏力。

　　质量块固连在旋转坐标系的平面，如果假设沿轴方向以相对旋转坐标系的速度运动，旋转坐标系绕负轴以角速度旋转，则根据科氏效应原理，不锈钢弯头质量块在旋转坐标系的正轴上产生科氏力，且此哥氏力与作用在质量块上的输入角速度仙成正比，并会引起质量块在轴方向的位移。通过测量此位移信息就可获得输入角速度的信息。具体来说，振动陀螺是通过一定的激振方式，使陀螺的振动部件受到驱动而工作在振动模态又称驱动模态质量块沿轴的运动。当与振动模态垂直的方向有旋转角速度输入时沿轴的旋转加速度∞，振动部件因科氏效应产生了一个垂直于振动模态的振动模态又称模态质量块沿轴产生的位移，该模态直接与旋转角速度成正比。微陀螺示例微机械陀螺可采用多种分类方法进行分类，如振动结构材料驱动方式检测方式和工作模式加工方式等。按振动结构可将微机械陀螺划分成线振动结构和旋转振动结构；按材料可将微机械陀螺划分为硅材料和非硅材料陀螺；按驱动方式可将微机械陀螺分为静电式驱动电磁式驱动和压电式驱动等；按检测方式可将微机械陀螺划分成电容性检测压阻性检测压电性检测光学检测和隧道效应检测等；按检测方式可将微机械陀螺划分成电容性检测压阻性检测压电性检测光学检测和隧道效应检测等：按加工方式可以将微机械陀螺划分成体微机械加工表面微机械加工等。在线振动结构里又可划分成正交线振动结构和非正交线振动结构。